成果信息
序 列 号 19CG11040520190140
项目名称 系列罗茨干式真空泵
承担单位 沈阳科技资源共享服务中心
所属领域 通用机械装备类 - 先进制造与自动化
转让方式 合作 开发
项目基本内容 本项目技术来源于国家02科技重大专项项目，现已形成了具有完全自主知识产权的干泵产品。目前产品已经在中芯国际、武汉新芯、上海华力等集成电路芯片制造企业，以及北方华创、上海中微等集成电路装备制造企业批量推广，使公司成为国内唯一一家能够提供进口替代并应用于集成电路领域的真空干泵厂家。
