19CG11040520190141 通用机械装备类：系列溅射离子泵

2022-06-07 00:00:00 作者：admin

成果信息
序  列  号 19CG11040520190141
项目名称 系列溅射离子泵
承担单位 沈阳科技资源共享服务中心
所属领域 通用机械装备类 - 先进制造与自动化
转让方式 合作 开发
项目基本内容 溅射离子泵在超高真空设备、电镜、质谱仪等科学仪器，以及国家重大科技基础设施中广泛应用。沈阳科仪公司研发的系列溅射离子泵采取仿真及优化设计，极限真空度达到国际领先水平。