成果信息
序 列 号 18CG22010519543754
项目名称 高灵敏度MEMS压力传感器
承担单位 沈阳化工大学
所属领域 通用机械装备类 - 先进制造与自动化
转让方式 许可、转让方式，技术入股方式，合作开发方式均可
项目基本内容 "本文研制了一种以多晶硅纳米薄膜为力敏电阻的表面微机械压阻式压力传感器芯片，该传感器芯片以硅为衬底，一个多晶硅膜片与衬底构成真空腔，密封的刻蚀孔排列在膜片四周，膜片上的四个力敏电阻用金属连接构成惠斯通电桥，将压力转换为电压输出。 技术优势："
