KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺
1. 设计精巧，手动上下片自动完成清洗。
2. 工艺单元灵活选配，配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元，有效去除残留光刻胶及0.5um以上Particle。
3. 人机交互接口，操作灵活，维护方便。
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适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺
1. 设计精巧，手动上下片自动完成清洗。
2. 工艺单元灵活选配，配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元，有效去除残留光刻胶及0.5um以上Particle。
3. 人机交互接口，操作灵活，维护方便。
