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    沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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    装备制造业-生产机构
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    沈阳市浑南新区飞云路 16 号
KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机

KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机

        用于前道300mm规模生产线,满足90nm光刻的涂胶显影工艺。 1.堆叠式结构,容纳spin单元数量最大为12,包括6个涂胶单元和6个显影单元。容纳热盘塔数量最大为6,容纳热处理单元数量最大为40。每个涂胶单元最多可以容纳8种光刻胶。 2.最高产能达到150WPH。 3.小占地面积,高可靠性,高稳定性,易于维护,低CoO。 4.客制化开发。

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商品介绍

用于前道300mm规模生产线,满足90nm光刻的涂胶显影工艺。
1.堆叠式结构,容纳spin单元数量最大为12,包括6个涂胶单元和6个显影单元。容纳热盘塔数量最大为6,容纳热处理单元数量最大为40。每个涂胶单元最多可以容纳8种光刻胶。
2.最高产能达到150WPH。
3.小占地面积,高可靠性,高稳定性,易于维护,低CoO。
4.客制化开发。
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