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    沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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    装备制造业-生产机构
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    沈阳市浑南新区飞云路 16 号
 KS-S300 12寸 匀胶显影机

KS-S300 12寸 匀胶显影机

        用于先进封装BGA、Flip-Chip、WLP、CSP制程的高黏度PR、PI的涂敷、显影工艺. 1.适合超薄晶圆处理,超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺. 2.涂胶单元特殊设计,避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖”现象. 3.机台为全封闭模块化结构,工艺单元灵活选配,全自动机械手实现基片传送,化学品供应与整机合为一体,小占地面积.

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商品介绍

用于先进封装BGA、Flip-Chip、WLP、CSP制程的高黏度PR、PI的涂敷、显影工艺.
1.适合超薄晶圆处理,超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺.
2.涂胶单元特殊设计,避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖”现象.
3.机台为全封闭模块化结构,工艺单元灵活选配,全自动机械手实现基片传送,化学品供应与整机合为一体,小占地面积.
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