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    沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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    装备制造业-生产机构
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    沈阳市浑南新区飞云路 16 号
 KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机

KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机

        适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺 1. 设计精巧,手动上下片自动完成清洗。 2. 工艺单元灵活选配,配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元,有效去除残留光刻胶及0.5um以上Particle。 3. 人机交互接口,操作灵活,维护方便。

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商品介绍

适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺
1. 设计精巧,手动上下片自动完成清洗。
2. 工艺单元灵活选配,配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元,有效去除残留光刻胶及0.5um以上Particle。
3. 人机交互接口,操作灵活,维护方便。
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