KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机
用于前道300mm规模生产线,满足90nm光刻的涂胶显影工艺。
1.堆叠式结构，容纳spin单元数量最大为12，包括6个涂胶单元和6个显影单元。容纳热盘塔数量最大为6，容纳热处理单元数量最大为40。每个涂胶单元最多可以容纳8种光刻胶。
2.最高产能达到150WPH。
3.小占地面积，高可靠性，高稳定性，易于维护，低CoO。
4.客制化开发。
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用于前道300mm规模生产线,满足90nm光刻的涂胶显影工艺。
1.堆叠式结构，容纳spin单元数量最大为12，包括6个涂胶单元和6个显影单元。容纳热盘塔数量最大为6，容纳热处理单元数量最大为40。每个涂胶单元最多可以容纳8种光刻胶。
2.最高产能达到150WPH。
3.小占地面积，高可靠性，高稳定性，易于维护，低CoO。
4.客制化开发。
